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产品名称:JT-S1232自动离子刻蚀微调机
产品详细说明

JT-S1232型  自动离子刻蚀微调机

功能描述

该机用于晶体生产过程中的微调工序。利用X-Y轴 平面送料系统将微调载盘送到微调工位,对晶体频率进行刻蚀微调。 使用辅助真空室进行工件的真空室内外交换,可以进行不间断的刻蚀微调,生产效率高。可以同时微调 4种不同的频率可适用于陶瓷整版生产和散料载盘生产两种工作模式

结构组成

• 计算机控制系统  

全中文(英文) 操作菜单。

• 真空系统

   泵:旋片直联式机械泵

  高真空泵:涡轮分子泵  (低温冷凝泵)

• 刻蚀微调控制系统   4套

• 自动上下料系统

• 电清洗系统

性能指标

1. 微调频率范围:1 MHz- 120MHz   1 MHz- 200MHz  订货时选购)

2. 微调控制精度:±3 PPM         

4.适用范围: SMD  3225 2520 2016   微调载盘模式 陶瓷整版模式  (可选)

5. 真空系统:真空极限压力 2.6×10-3Pa            工作真空压力:1.3× 10-2 Pa(约8分钟)

6. 测量方法:PI 网路分析仪

7. 效率:不间断工作模式,4枪同时刻蚀32只晶体,平均0.45/只         

8.微调方法:离子刻蚀

工作条件

  外型尺寸:长2400×宽1150×高1700 mm    重    量:约 600 kg   

水: 0.2Mpa(压差)     水 温 20℃-25℃   最大压力 0.5Mpa    流量 约0.33 m3/hr

   压缩空气:0.5-0.7Mpa              氮    气:0.1Mpa      所需电力:Φ3  380V    4.5KVA



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